基于AlN的MEMS变形镜仿真及驱动性能研究

设计了一种基于氮化铝(AlN)材料的压电连续面型变形镜,采用理论分析和COMSOL仿真对该AlN MEMS变形镜的结构进行了优化,拟合了前14项Zernike多项式 ,对其驱动性能特别是像差矫正能力进行了系统研究。研究结果表明,该变形镜表现出与COMSOL工艺相兼容、制备工艺简单且环保的特点,具有线性控制、大形变量的优势,满足一般自适应光学系统的要求。