多点实时光刻机光源照度均匀度检测系统设计 上传者:boyun84803 2021-02-01 10:42:15上传 PDF文件 4.32MB 热度 10次 提出了一种光刻机照度均匀度多点测量方法, 该方法利用紫外增强PIN光电二极管, 同时快速测量曝光机照面多点的光强, 通过在传统电流-电压放大电路的基础上进行改进, 同时使用复合放大的方法, 大大提高了曝光机照度均匀度多点测量方法的重复性, 使每一测量单点测量重复性控制在0.02 mW/cm2。利用紫外增强PIN光电二极管光刻机光源进行实验, 结果表明, 多点测量一致性小于0.1 mW/cm2, 且检测的照度均匀性符合要求。 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论 boyun84803 资源:440 粉丝:0 +关注 上传资源 免责说明 本站只是提供一个交换下载平台,下载的内容为本站的会员网络搜集上传分享交流使用,有完整的也有可能只有一分部,相关内容的使用请自行研究,主要是提供下载学习交流使用,一般不免费提供其它各种相关服务! 本站内容泄及的知识面非常广,请自行学习掌握,尽量自已动脑动手解决问题,实践是提高本领的途径,下载内容不代表本站的观点或立场!如本站不慎侵犯你的权益请联系我们,我们将马上处理撤下所有相关内容!联系邮箱:server@dude6.com