大面积高均匀度平行光曝光机用自由曲面复眼透镜设计

大面积平行光曝光机是印刷线路板(PCB)、显示面板和触摸屏等电子产品重要的制造设备, 由于采用复眼结合反射镜的非轴对称科勒照明光路, 其曝光均匀度只有0.85左右, 难以满足高精度加工制造的需求。针对此问题, 提出了采用自由曲面复眼替代传统的球面复眼, 建立了高均匀度复眼单元的自由曲面面型设计方法。光线追迹仿真实验结果显示, 采用所提方法后曝光均匀度提高到了0.91以上, 满足高精度加工制造所需的高曝光均匀度的要求。所设计的自由曲面复眼的面型连续, 可以通过金刚石车削进行精密加工, 有望在大面积平行光曝光机照明光路中得到广泛应用。