导模法生长超大尺寸蓝宝石板材的研究

采用自主设计制造的导模炉, 通过热场模拟辅助设计出理想的模具表面温度分布, 采用两段加热的方式控制晶体的应力和气泡缺陷, 选择合适的提拉速 率控制气泡层的分布, 成功生长了高质量超大尺寸蓝宝石单晶板材, 蓝宝石板材可利用尺寸690 mm×300 mm×12 mm。摇摆曲线半高宽为0.016 3°, 说明晶体 具有良好的结晶质量。5 mm厚度样品的透过光谱测试表明, 透过率与用其它晶体生长方法的晶体相同。