相衬光学显微镜中相衬板的研制

基于Zernike相衬法原理和相衬板设计理论,利用金属材料Ag具有宽角度消偏振的特性,设计一种低偏振效应的移相膜。采用光刻及镀膜法,研制了可用于相衬显微镜中的新型结构相衬板。通过控制介质膜和金属膜的物理厚度,分别调节相衬板的相位和透过率,提高相衬度;通过优化光刻及制备薄膜的工艺参数,得到高质量的圆环结构。最终获得振幅透过率为18.03%,相移量为0.49π的相衬板。