高衍射效率凸面闪耀光栅的研制

基于严格耦合波分析, 研究凸面闪耀光栅的衍射特性; 采用全息光刻-离子束刻蚀法制作中心周期为2.45 μm、曲率半径为51.64 mm、口径为17 mm的凸面闪耀光栅, 闪耀角为6.4°, 顶角为141°。结果表明, 在整个可见-近红外波段, 所制作光栅的1级衍射效率大于40%, 在闪耀波长处1级衍射效率大于75%。