芯片原子钟原子气室的研究进展

在微型定位、导航、授时(Micro-PNT)系统中, 芯片原子钟(CSAC)作为微型时钟模块的核心, 其发展关乎到Micro-PNT系统的定位精度与授时能力。原子气室作为芯片原子钟的“心脏”, 其制备工艺直接决定着原子钟的体积、稳定度与功耗等多项性能指标。随着原子钟功耗的降低与体积的减小, 加工制造出与之相适应的微型原子气室势在必行。从玻璃吹制法与微电子机械系统(MEMS)超精细加工法两个方面介绍了原子气室的加工工艺, 综述了其研究进展, 并分析了目前微型原子气室在制备工艺中存在的不足, 对未来原子气室制备工艺的进一步优化具有一定的参考作用。