复合表面三维形貌测量方法的仿真与验证

基于全场相位计算的光学测量方法可获取物体表面的三维(3D)形貌,全场条纹投影轮廓术和相位测量偏折术分别用于漫反射表面和镜面物体形貌的测量。工业生产和日常生活中存在许多由漫反射面和镜面共同组成的复合表面物体,快速测量这些物体的表面形貌是保证其质量的关键。因此,提出了一种基于相位测量偏折术和条纹投影轮廓术的复合表面3D形貌测量方法,同时建立了相应的仿真系统。仿真分析了不同结构参数对3D测量结果的影响,对测量系统参数进行了优化,得到最佳参数配置。仿真和实验结果表明,优化后的测量系统能准确、高效地获得复合表面物体的3D形貌数据。