高光提取效率倒装发光二极管的设计与优化

为了提高倒装发光二极管(LED)的光提取效率, 提出在蓝宝石衬底出光面上制备一层SiO2介质光栅, 形成表面光栅倒装LED结构。利用RSOFT软件的CAD模块建立表面光栅倒装LED模型, 随后使用RSOFT软件的LED模块模拟并优化该表面光栅倒装LED。通过模拟优化和理论分析可得, 当p-GaN层厚度hp=220 nm, n-GaN层厚度hn=100 nm, 蓝宝石衬底厚度hs=130 nm, 光栅周期p=260 nm, 光栅厚度hg=20 nm, 光栅占空比f=0.02时, 表面光栅倒装LED的光提取效率可以达到49.12%, 相比于普通最优倒装LED的光提取效率(30.56%)提高了63%