三坐标激光非接触外形尺寸快速测量系统与误差控制方法

传统的接触式测量满足不了批量生产的快速响应,典型的结构光法和基于近景摄影测量的非接触测量方法,在三坐标测量与三坐标解算过程中人工参与多,且应用限制条件多。利用1D激光位移传感器、伺服坐标控制器和运动减震补偿设备,研制了一种三坐标非接触外形尺寸测量系统,能够实现快速三维成像,自动获取工件表面密集三维点云。激光位移传感器安装在z轴上,并与xoy平面垂直。通过严格的系统检校和滤波,控制与补偿测量误差,快速自动全面检测工件质量。实验结果表明,系统单点测量精度优于10 μm,平均测量精度优于20 μm,可满足工件检测的使用要求。