复合量程微加速度计动态特性分析

随着硅微机械技术的不断发展,基于压阻原理的微加速度计已成为商品。由于硅的机械性能优良,这些微加速度计往往具有较高的抗过载能力。然而,有些物理过程存在相差上百倍的多个加速度值需要测量,需要测试的过载值从几g到上万g,若在整个过程采用高g 值加速度计进行测量和控制,它对低g值信号不敏感;若采用低量程加速度计,则不能精确测量高过载信号;若采用2个加速度计进行测量控制,由于安装位置的不同,使其测得的信号会产生位置误差,而且2个传感器都存在安装误差。因此抗高过载复合量程加速度计更适合现代发展的需求。