MEMS电磁式振动能量收集器加工及性能测试

为了满足轨道交通无线传感网络测量系统对自我供能的需要,设计了一种单线圈的电磁式振动能量收集器。利用MEMS技术制备平面镍弹簧片和铜线圈等关键部件,并结合永磁体进行整体组装,制备出了MEMS电磁式振动能量收集器样机。利用扫频结合加速度的方式对样机性能进行测试,在1 m/s2固定加速度以及100~400 Hz振动频率条件下,该能量收集器的最大位移和最大输出电压分别为50 μm和2. 8 mV。