MEMS陀螺仪、加速度计和磁强计原理

目录0.前言1. MEMS加速度计2. MEMS陀螺仪3. MEMS磁强计4.参考资料 0.前言 本文根据HowToMechatronics1网站中的介绍MEMS加速度计、陀螺仪和磁强计的文章翻译和补充得来。 1. MEMS加速度计 1MEMS加速度计的原理简图如下图所示,其中质量块mass被弹簧springs支撑,使得其只能沿着预定方向位移,从而检测特定方向的加速度;绿的部分是固定的电极板Fixed plates。检测原理是当质量块感受到加速度时,会在相应方向产生位移,从而使得固定电极板构成的两个平行板电容器C1,C2的电容大小发生改变,检测其电容值大小即可换算成相应的加速度。