多孔硅通常根据孔径分为三类

在1950年代,贝尔实验室的两名工程师试图开发一种成形和抛光硅和锗晶片的工艺。在将HF酸和溶剂与在硅表面上施加的电流混合的各种尝试之后,除了表面颜色从黑变红为棕以外,人们认为发生的事情不多。这些结果写在一份技术报告中,并被遗忘了约30年,直到Leigh Canham发现这些化学蚀刻层具有独特的量子约束性质,在某些情况下还显示出惊人的光致发光。