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扩散层质量参数及扩散工艺条件选择

上传者: 2020-12-31 20:08:30上传 PDF文件 56.59KB 热度 8次
课程内容: §4.5.1 扩散层质量参数 1 扩散结深Xj 1.1 余误差分布的扩散结深Xj 1.2 高斯分布的扩散结深Xj 1.3 关于扩散结深Xj讨论 1.3.1 扩散结深Xj与表面杂质浓度和衬底杂质浓度的关系 1.3.2扩散结深Xj与扩散时间的关系 1.3.3 扩散结深Xj与扩散温度的关系 1.4 基区和发射区扩散后的杂质分布曲线及载流子分布曲线 1.5
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