测试硬件简介 探针卡(prober card)

探针卡(prober card) 是晶圆测试(wafer test)中被测芯片和测试机之间的接口.探针卡对前期测试的开发及后期量产测试的良率的保证都非常重要.一.下面介绍一常见的几类探针卡。1.Blade Type : Under 70 pins,low speed LOW CURRENT PROBING PROBING AT EXTREME TEMPERATURES: > 200oC RF PROBING: > 3 GHZ Low cost Lead time 1 day刀片式:结构稳定,抗干扰性好,可用于RF测试。2.Epoxy Type ; <1000pins Large