表面内电极接触与互连

课程内容: 1 电极接触及表面内电极的制备要求 1.1 电极接触 1.1.1 表面内电极接触 1.1.2 表面内电极与外电极接触 1.1.3 管芯背面与管座的接触 1.2 表面内电极的制备要求 1.2.1 工艺应用性好 1.2.2 电极与电性区接触为欧姆接触 1.2.3 电极材料的电阻率低 1.2.4 电极材料与管芯表面粘附性好 1.2.5 表面电极完整性好 1.2.6 表面电极物理、化学稳定性好 1.2.7 电极材料的热、电稳定性