传感技术中的无源无线SAW传感器及其应用

一、前言 传感器是把客观世界中包含的各种信息通过各种载体尽量多的转换出来,出于人类自身认识和思维的促限性等原因,人们习惯于接受和处理电磁信号携带的信息;因此,在以电磁信号为载体的信息社会迅速发展的今天,传感器的重要性就不言而喻,由于当前理论、设计、工艺等发展的局限性,人们在现有已建立信息系统的模型、信息载体的种类的基础上的信息敏感、信息传输和信息利用各个环节上不可避免的造成信息大量失真,在理论上已为人们所认识;如何解决这个问题呢?鉴于SAW技术自身的技术特点:工作频率高(GHz量级)、信息载体信号(电磁—机械运动)能量集中、运动的表面化(易于工艺处理)、微细线条加工工艺成熟等原因,使