纳米技术在微电子连接上的应用(图)

纳米技术(nanotechnology)是一门在0.1~100nm空间尺度内操纵原子和分子,对材料进行加工,制造具有特定功能的产品,或对某物质进行研究,掌握其原子和分子的运动规律和特性的崭新高技术。本文示举两例,介绍纳米技术在微电子连接方面的应用。 纳米印刷技术 在半导体产业中,微细加工技术是实现器件的集成化和高性能化不可欠缺的技术。但是,在进行微米尺度以下的加工时,必须在清洗环境下排除振动,保持一定的加工环境温度,抑制由热膨胀引发的尺寸变化,因而会增加相当大的成本。 近年来,以美国为主,不少国家开始使用微米连接印刷、毛细管微型模板、浸笔印板术等可以简单地形成纳米结构的新型制造技术,这种