电源技术中的Cymbal型复合压电作动器微进给技术研究

摘要:针对普通压电作动器行程较短的缺点,提出一种具有Cymbal结构的复合压电陶瓷作动器的结构设计。通过将压电陶瓷微小的径向位移放大,转换成轴向位移,扩大了作动器的行程。在作动器控制系统设计中,一方面在硬件结构设计中引入了高精度的位移传感器闭环反馈系统,另一方面通过对作动器的输出进行软件补偿的方法,消除了Cymbal型复合压电作动器自身存在的输出磁滞性和非线性的缺点,大幅度提高了系统的开环控制特性,实现了对作动器的高精度控制。实验结果证明系统设计有效。 关键词:压电作动器 微进给 控制系统 行程 智能传感器 引言 压电陶瓷作动器是一种利用压电陶瓷逆压电效应制作