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医疗电子产品MEMS封装设计要点

上传者: 2020-12-17 06:46:27上传 PDF文件 200.97KB 热度 17次
MEMS器件的封装形式是把基于MEMS的系统方案推向市场的关键因素。研究发现,当今基于MEMS的典型产品中,封装成本几乎占去了所有物料和组装成本的20%~40%。由于生产因素的影响,使得封装之后的测试
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