MEMS传声器具有数字输出功能

MEMS传声器具有数字输出功能 Akustica公司的设计师们称:AKU2000是首款CMOS MEMS直接数字输出、单芯片传声器。该公司从卡内基梅隆大学获得了该技术的使用许可(它相信此项技术得到了全面的专利保护),使其能够采用标准CMOS工艺的金属化层来制作MEMS,以形成构成传声器的传感元件的隔膜。由于该技术为标准的CMOS,因此,该公司可将一个输出放大器和4阶Δ-Σ调制器做在同一块芯片上。与其迫切希望取代的技术(驻极体电容传声器)不同,该芯片可采用标准的流体焊接工艺进行表面安装。它需要一个1MHz~4MHz的时钟输入,工作电压范围为2.8V~3.6V,工作电流低于750μA。Akust