传感技术中的力平衡加速度传感器原理设计

力平衡加速度传感器原理设计 [日期:2004-12-7] 来源:21IC中国电子网 作者:李忠勤 刘琳 赵长有 [字体:大 中 小] 作者:zcyhero@yeah.net 摘要:本文介绍了一种力平衡加速度传感器的原理设计方法。差容式力平衡加速度传感器在传统的机械传感器的基础上,采用差动电容结构,利用反馈原理把被测的加速度转换为电容器的电容量变化,将加速度的变化转变为电压值。使传感器的灵敏度、非线性、测量范围等性能得到很大的提高,使其在地震、建筑、交通、航空等各领域得到广泛应用。 关键词:加速度 差容式 力平衡 传感器 加速度传感器是