传感技术中的热对流式双轴加速度传感器及其在消费类电子产品中的应用

以半导体技术和微机电加工工艺设计、制造的MEMS传感器,因其集成度高,并可与信号处理电路集成在一起,从而大大降低了生产成本,已经在汽车、消费和通信电子领域得到了广泛的应用。MEMS硅悬臂木梁加速度传感器、电容式加速度传感器已经应用得很普遍了。一种采用全新构造,并具有数字信号处理功能的热对流式双轴加速度传感器,正在被消费电子产品的设计师所采用,并由此衍生出许多新的应用,很多产品可以因此而简化设计、降低成本并增加很多新的功能。 热对流式双轴加速度传感器工作原理热对流式双轴加速度传感器是以虚拟的、悬浮于空中的热气团作为质量块.在微机电结构上没有可活动的部分,其独特的桥式结构牢牢地固定在硅片上。热对