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EL6249C及其在MEMS动态测试中的运用

上传者: 2020-12-16 02:39:33上传 PDF文件 94.97KB 热度 4次
EL6249C及其在MEMS动态测试中的运用 [日期:2004-12-8] 来源:国外电子元器件 作者:金翠云 李一博 王立坤 靳世久 [字体:大 中 小] 摘要:EL6249C是美国Elantec半导体公司推出的四通道激光二极管电流放大器。文中根据频闪成像原理,利用EL6249C设计了一套频闪驱动电路,该驱动电路可驱动高亮LEC,以产生MEMS动态测试中所需的频闪光,为后续MEMS器件的动态特性提取和分析做准备。 关键词:MEMS EL6249C 动态测试 频闪 1 引言 微电子机械系统(MEMS)是在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的新兴学
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