晶体生长设备的真空系统设计

李留臣(西安理工大学晶体生长设备研究所,西安 710048)摘 要:阐述了降低真空系统漏气率的一些措施,包括真空系统设计中的结构设计、密封形式的选择、密封材质的选用等,提出了一种新型的静密封结构,提高了真空系统的密封性能。关键词:真空;密封;漏气率;密封结构文章编号:1004-4507(2004)06-0051-03随着科学技术的飞速发展,在半导体工业、表面科学、真空冶金、生物制药、新材料生产与研究等科研与生产领域中,真空系统的应用越来越广泛,并且向更高的要求发展,因此,如何设计真空系统,提高系统的密封性,降低系统的漏气率,是使真空系统更好的为现代工业发展服务的关键所在。西安理工大学晶体生长设