隧道/车间概念

随着更严格的颗粒控制成为必要,VLF型工作台就产生了一些缺点。其中主要是由于车间中众多工作人员的移动而产生的易污染性。进出于加工车间的工作员对所有流程的工作台都存潜在污染。 把加工车间分割为不同的隧道可解决人员污染问题(图5.11)。这时过滤器被装于车间天花板上,而不是在单独工作台中,但是起的作用相同。经过天花板中的过滤器流入的空气可保持持续洁净,并且会降低人员产生的污染,这是因为减少了工作台周围的工作人员。但这种方法的缺点是建造费用较高,而且不适于工艺改动。 图 5.10立式空气层流-蒸气-排风工作台截面图 To Factory Exhaust System到工厂排风系统 Air Flow空