滚磨定向指示

一旦晶体在切割块上定好晶向,就沿着轴滚磨出一个参考面(图3.16)。这个参考面将会在每个晶圆上出现,叫做主参考面。参考面的位置延着一个重要的晶面,这是通过晶体定向检查来确定的。 在制造工艺中,参考面对晶向起可见的参考作用。它用来放置第一步的光刻图案掩膜版,所以芯片的晶向总是沿着一个重要的晶面。 在许多晶体中,在边缘有第二个较小的参考面。第二个参考面对于主参考面的位置是一种代码,它不仅用来区别晶圆晶向而且区别导电类型。这种代码在图3.17中显示。 对于大直径的晶圆,在晶体上滚磨出一个缺口来指示晶向。