物质的性质

所有物质都可用其化学组成和由化学组成而决定的性质来区分。在这一节,定义了好几个重要性质,都需要通过与半导体材料和工艺化学品打交道来理解的。 温度 不管是在氧化管中还是在等离子刻蚀反应室内,化学品的温度都对和其它化学品的反应发挥着重要影响,而且一些化学品的安全使用也需要了解和控制化学品的温度。有三种温度表示方法用于标识材料的温度,它们是华氏温标,摄氏温标和开氏温标(图2.17)。 水的沸点 水的冰点 绝对零度 图2.17 温度计量系统 华氏温标由德国物理学家Gabriel Fahrenheit用盐和水溶液开发的。他把溶液的冰点温度定为华氏零度,不幸地是纯水的冰点温度更有用,结果是在华氏温标中