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隔离工艺

上传者: 2020-12-13 10:33:15上传 PDF文件 46.79KB 热度 10次
课程内容: 1 pn结隔离工艺 1.1 pn结隔离原理 1.1.1 采用了p型衬底 1.1.2 采用了n型外延层 1.1.3 采用了高浓度p型隔离墙 1.2 pn结隔离工艺流程 1.3 pn结隔离工艺的几点说明 1.3.1 有关隔离扩散深度 1.3.2 对是否扩穿外延层的测定
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