先进SMT研究分析手段 2

2 实验设备及仪器应用介绍 根据上述述简要分析,结合相关检测技术和作用进行介绍。 扫描电子显微镜SEM(Scanning Electron Microscope) 该类仪器有两种:常规场致发射SEM、带有X光的能量色散谱仪(EDS)。 主要作用:进行好的深场景、高倍光学分析,利用EDS还可以分板内部织成。 典型应用:SMT焊点可靠性缺陷检查的显微图像分析,可以进行金相分析。 声扫描显微镜(Scanning acoustic microscope) 进行物体无损、高倍率检查。其典型应用是样品器件底部填充空洞检查、分析