净化空气的方法 上传者：zwj28332 2020-12-13 08:14:12上传 PDF文件 19.95KB 热度 17次 洁净室的设计是要使生产免污染晶圆的能力更完整化。设计时的主要思路是保持加工车间中空气的洁净。自动化生产也是降低污染的一种重要方法。这个问题将于“工艺设备”一节与第十五章展开讲述。共有四种不同的洁净室设计方法: 1. 洁净工作台 2. 隧道型设计 3. 完全洁净室 4. 微局部环境 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论 zwj28332 资源：439 粉丝：0 +关注 上传资源 免责说明 本站只是提供一个交换下载平台，下载的内容为本站的会员网络搜集上传分享交流使用,有完整的也有可能只有一分部,相关内容的使用请自行研究,主要是提供下载学习交流使用,一般不免费提供其它各种相关服务! 本站内容泄及的知识面非常广,请自行学习掌握,尽量自已动脑动手解决问题,实践是提高本领的途径,下载内容不代表本站的观点或立场!如本站不慎侵犯你的权益请联系我们,我们将马上处理撤下所有相关内容！联系邮箱：server@dude6.com
