自动化蚀刻控制下的可重复性

赵水林,葛晓景(上海先进半导体制造有限公司,FSI international 上海 200233)摘要:以氟化氢为基础的溶液被广泛地用在扩散前清洗工艺中的二氧化硅清洗与蚀刻中。为降低不同批次之间工艺效果的差别,也就是增加批次与批次之间工艺效果的可重复性,更好地控制氧化物地腐蚀显得尤为重要。自动化的蚀刻控制体系弥补了在线的化学品浓度与反应温度的偏差而达到了精确的蚀刻目标。 关键词:可重复性;清洗;腐蚀1 Introduction Spray processors are dry-in/dry-out wet cleaning systems capable of being used at v