T46X型硒镓银单晶炉的研制

(西安理工大学,陕西西安 710048)摘 要:介绍了TDR-46X型单晶炉的设计思路及工作原理,结合拉制单晶的特殊工艺要求,分析了其主要结构及特点。关键词:单晶炉; 结构; BS法; 炉室上升中图分类号:TF806.9 文献标识码:B 文章编号:1004-4507(2005)03-0004-28晶体生长设备(俗称单晶炉)按照晶体生长方法可分为提拉法单晶炉、坩埚下降法单晶炉、区熔法单晶炉等等。坩埚下降法单晶炉可简称为下降炉。坩埚下降法简称BS法,是将盛有熔体的坩埚在具有一定温度梯度的生长炉内缓慢下降,使熔体转化为单晶体。这个过程可以是坩埚下降,也可以是结晶炉沿着坩埚上升。在国产单晶炉中,仅有两