IH工艺的发展及应用

孔祥东,张玉林,尹明(山东大学控制学院电子束研究所,山东 济南 250061)摘要:介绍了IH系列立体光刻技术。使用该系列技术可以加工出具有高深宽比和复杂曲面的各种微结构,可以容易地加工出微可动部件、电子聚合物组合结构和不同聚合物的全聚合物结构,能较好地满足MEMS发展的需要。最后指出这种方法目前存在的缺陷。 关键词:IH工艺;立体光刻;抗蚀剂中图分类号:TN305.7 文献标识码:A 文章编号:1671-4776(2003)11-0034-061引言随着微机电系统在各个领域的广泛使用,需要精确产生复杂曲面和各种形状微结构的加工方法。目前用于微尺寸加工的主要技术为基于IC工艺的平面硅工艺和立体