元器件应用中的平板式电容传感器测量电路研究

平板式电容传感器测量电路研究 肖志红 1.引言 电容传感器在电子测量技术中占有十分重要的地位,广泛应用于各种测量系统。他具有结构简单,分辨率高,抗干扰能力强,动态响应快,能在恶劣工况条件下工作,并能实现非接触式测量等特点。他的基本工作原理是基于被测物理量的变化可以转换为电容量变化的这一特点。由物理学可知,电容器的电容量是构成电容器的两极片形状、大小、相互位置及电介质介电常数的