基于TMS320C6713的电子束曝光机图形发生器的硬件设计

摘要:提出了一套功能较为完备的新型扫描电子束曝光机图形发生器的硬件设计方案。方案采用 TMS320C6713芯片作为核心单元,并由USB2.0接口电路、存储器扩展电路、标记检测控制电路、曝光控制电路和束闸控制电路构成。方案具有数据处理能力强、速度快、接口方便等优势,克服了传统图形发生器单纯依靠软件完成、速度慢、精度低、工作不稳定的缺点。 关键词:电子束曝光机;图形发生器;数字信号处理 中图分类号:TN305.7 文献标识码:A 文章编号:1003-353X(2005)03-0054-041 引言 扫描电子束曝光系统是在20世纪60年代扫描电镜的基础上发展起来的,是微电子工业和微细加工研究领域首