按比例缩小理论

由前面的分析可知,缩小器件的尺寸,可以减小沟道长度L和寄生电容,从而改善集成电路的性能和集成度。器件尺寸的缩小,在集成电路技术发展的历史中,起着十分重要的作用,在今后仍然是集成电路进一步发展的一个关键因素。 MOS集成电路的缩小尺寸,包括组成集成电路的MOS器件的缩小尺寸以及隔离和互连线的缩小尺寸三个方面。MOS器件尺寸缩小后,会引入一系列的短沟道和窄沟道效应。 MOS集成电路器件缩小尺寸的理论就是从器件物理出发。研究器件尺寸缩小之后,尽可能减少这些小尺寸效应的途径和方法。 1974年,R.Dennard等提出了MOS器