传感技术中的光电子在传感器技术中的应用

一、引言应变测量在力学、材料科学和工程领域是非常重要的。在许多光学测量技术中,衍射法可直接提供应变信息。Ball[1]首先使用了衍射光栅应变规,这种应变测量技术一直在发展,目前已得到广泛应用。本文以光栅衍射法为基础,利用位敏探测器和衍射光栅提出一种可替代电阻应变规的新型实用光学应变传感器,所用仪器设计原理和数据处理技术都不同于传统的方法。这种新型传感器可进行动态应变测量,测量范围大,传感器的灵敏度为1me,空间分辨率为0.1mm,优于以往的所有应变传感器。新型光学应变传感器的突出特点是: 1非接触测量(读出),应变信息用光学方法由光栅传送到信号处理单元; 2应变规长度是可变的,由激光束直径确定