自组装半导体量子点在纳米电子器件中的应用

孙 捷(中国科学院半导体研究所 半导体材料科学重点实验室, 北京 100083)摘要:随着微电子工艺逐渐逼近其物理极限,具有量子特性的纳米电子器件的研制被提上日程。自组装半导体量子点由于缺陷少、生长技术成熟和具有δ函数形式的能态密度等优点而被广泛用于纳米电子器件制备中。本文按纵向输运器件、横向输运器件的分类扼要评述了该领域的最新进展,并对待解决的问题和发展前景作了分析。 关键词:微电子工艺;量子特性;自组装半导体量子点;纳米电子器件 中图分类号:TN304.01 文献标识码:A 文章编号:1003-353X(2005)01-0061-051 引言 量子点也称人工原子,在20世纪晚期开始受到重视