传感技术中的BANNER传感器应用举例—晶圆检测

■晶圆检测 目的:检测晶圆盒中的晶圆 应用:激光发射器发出细小光束,带0.02水平矩形光缝的接收器能保证光束完全被晶圆挡住。晶圆盒被安装在一个垂直运动的升降器上,当升降器上下运动时检测。 传感器:M12E2LD & Q23SN6R w/AR19-00,加装一个0.5mm(0.020)矩形光缝 ■300mm晶圆检测 目的:检测300mm FOUP中晶圆的有无 应用:两个PicoDot传感器用来同时检测同一晶圆的边沿。如果只有一个传感器检测到了边沿,则认为晶圆错位,此方位也可用于检测双槽晶圆。对于短距离的应用,可选用PD45VN6C50. 传感器:PD45VN6C200