传感技术中的米铱改进型ILD1800激光传感器用于双面覆铜板在线测厚

双面覆铜板在线测厚,考虑到在线传送时覆铜板上下窜动带来的测量误差,应在测厚点上下安装两个传感器。如下示意图 双面覆铜板测厚早期用电容式传感器。它的优点是表面色斑,表面微观沟槽不影响测量结果,其缺点是传感器头与被测面间隙很小,且受间隙中介质变化而影响精度。对安装调校的环境要求很高,使用受到限制。而最致命的缺点是电容式传感器是面积效应,它测的是大于面积5mm处的平均厚度。这对精密到某一点的板厚测量是很大的缺陷。 于是激光位移传感器受到重视,因为传感器安装距离远,环境要求并不高,而且基本上是一个点的测厚。适于精密到某一点的板厚测量。问题是,一般慢反射激光传感器对表面色斑的敏感,以及几