传感技术中的日本研发最大的氢气传感器

日本产业技术综合研究所(产综研)开发出了可集成于半导体芯片的微型热电式氢气传感器。检测范围(空气中氢气的浓度)达到了0.5ppm~5%之间。用于氢气站等设施的泄露检测。今后将向有关机构提供传感器样品,力争将其应用于氢气设施中。 该传感器在热电转换式MEMS元件上形成了以陶瓷支撑材料的铂触媒图案。与过去的传感器相比,更能发挥铂触媒的性能,因而具有良好的灵敏度和耐用性。 因为空气中氢的浓度一旦达4%,就会爆炸,因此氢气泄露检测技术需要氢气传感器能够在ppm级到4%这一最低爆炸极限浓度范围之间进行高精度检测。但是,以前的接触燃烧式和半导体式氢气传感器很难在ppm到百分之几的大范围内进行检