SAW器件在移动通信领域中的发展

SAW器件是近代声学中的表面波理论、压电学研究成果和微电子技术有机结合的产物。所谓SAW,是在压电固体材料表面产生和传播、且振幅随深入固体材料的深度增加而迅速减小的弹性波。与沿固体介质内部传播的体声波(BAW)比较,SAW有两个显著特点:一是能量密度高,其中约90%的能量集中于厚度等于一个波长的表面薄层中;二是传播速度慢,约为纵波速度的45%,是横波速度的90%。在多数情况下,SAW的传播速度为3000~5000m/s。根据这两个特性,人们研制出具有不同功能的SAW器件,而且可使这些不同类型的无源器件既薄又轻。 SAW器件主要由具有压电特性的基底材料和在该材料的抛光面上制作的由金属薄膜