传感技术中的单电容式及差分电容式MEMS传感器检测系统

电容式传感器工作原理 电容式传感器分单电容式和差分电容式二种。如图1所示。 图1 单电容式和差分电容式传感器 (a) 单电容传感器 (b) 差分电容传感器 图1(a)为两平行板组成的电容器,图1(b)为两平行板中间插入极板组成的差分电容传感。对图1(a)而言,当忽略电容器的边界效应时: 电容器的电容量为: 式中A为电容器的极板面积,d为极板的距离,er、e0为介电常数。 电容传感器中的变间隙式电容传感器的C-d特性如图2所示。 图2 变间隙式电容传感器的C-d特性曲线图 单电容传感器的一个极板固