显示/光电技术中的显微系统的特点及参数

光学计量仪器中的显微系统可分为两类,一类用来观察物体表面的微观轮廓(如表面粗糙度),另一类用来瞄准或读数。对前一类,关键是其分辨率,并由此来决定系统的数值孔径、放大率等一系列参数;后一类则应从瞄准读数精度出发来决定其参数。下面分别对其参数进行讨论。 (1)放大率 用于瞄准/读数的显微系统,其放大率应保证瞄准精度的要求。物镜的放大率一般不高,但应准确,允差为0.1%~0.05%,否则将引入测量误差。在设计时还应考虑其结构形式,便于在装配时能调整其放大率到准确的数值。而用于观察物体细节的显微系统,要求有较高的放大率,但对其数值并不要求准确,仪器中标出的放大率只是其名义值,允差可为8%。