电源技术中的晶体硅太阳电池扩散气氛场均匀性研究

1 引言 晶体硅太阳电池能够取得高效转换效率的原因主要是基于表面钝化、湿氧氧化等技术的应用。新技术的开发与运用同时也极大地促进了太阳电池的商业化发展。在过去的10年,全球太阳电池的生产以年平均30%的速度快速增长,单晶硅和多晶硅太阳电池的增长所占比重最大,超过整个太阳电池增长的80%。 除产业化运用新技术外,太阳电池制作中工艺优化也非常重要的。太阳电池产业化所面临的主要问题之一是如何在保证电池高转换效率前提下提高产能。扩散制作P -N结是晶体硅太阳电池的核心,也是电池质量好坏的关键之一。对于扩散工序,最大问题在于如何保障扩散的均匀性。扩散均匀性好的电池。其后续工艺参数可控性高。可以