新型传感器技术及应用【作者】 刘广玉 北京航天航空大学

本书系综合目前国内外有关文献及作者的研究成果编著而成。主要内容有:传感 器敏感材料;微机械加工技术;传感器建模;硅电容式集成传感器;谐振式传感器;声 表面波传感器;薄膜传感器;光纤传感器;场效应管型化学传感器;固态成象传感器; Smart传感器等十一章。从敏感材料、微机械加工技术到一些先进传感器的设计原 理、应用和发展情况作了较全面、深入的讨论。 本书内容丰富、实用、新颖。既重视理论,又结合应用。可供大专院校有关专业的 研究生、高年级大学生和从事仪器仪表、测试技术、自动化等方面的科技人员参考使