元器件应用中的微电容检测技术

在MMG检测技术中,利用电容传感器敏感试验质量片在哥氏力作用下的振动角位移,获取输入角速率信号。由于陀螺仪的尺寸微小,为了得到10°/h的中等精度,要求电容测量分辨率达到(0.01×10 -15)~(1×10 -18)法拉。因此,对于微机械加速度计和向机械陀螺仪来说,检测试验质量和基片之间的电容变化是一个关键技术。目前在MMG中采用的微电容检测方案有三种:开关电容前在MMG中采用的微电容检测方案有三种:开关电容电路、单位增益放大电路和电荷放大电路。 2.1 开关电容电路 其基本原理是利用电容的充放电将未知电容变化转换为电压输出。该测量电路包括一个电荷放大器、一个采样保持电路,如图1