工业电子中的HIRFL CSR真空控制系统的设计及其应用

摘 要:介绍了以微控制器MSP430F149为核心设计的真空控制模块,给出了在HIRFL-CSR真空控制系统中的硬件电路和软件程序。通过RS485总线和Intranet实现了对模块连接的各种真空设备的实时远程测控。 引言 国家“九五”重大科学工程项目HIRFL-CSR(兰州重离子加速器冷却储存环工程)主环真空系统全线非标部件和标准设备的安装、检漏在2004年初已经完成,经烘烤后真空度达到10-11mbar的超高真空环境。放置于加速器注入线和主环真空腔体和束运线上的各类高/低真空泵达几百个, 需要检测和控制的真空计和高真空电源也近百个, 为了实现远程开/关各种真空计和高真空电源,定时